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電子書籍・電子雑誌研究報告
巻号2011 (17)
異なる成膜方法,成膜...

異なる成膜方法,成膜条件で作製されたDLC膜の膜密度と膜硬度,ラマンスペクトルの関係

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異なる成膜方法,成膜条件で作製されたDLC膜の膜密度と膜硬度,ラマンスペクトルの関係

国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/11615785
資料種別
記事
著者
堀内崇弘ほか
出版者
神奈川県立産業技術総合研究所
出版年
-
資料形態
デジタル
掲載誌名
研究報告 2011(17)
掲載ページ
-
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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
堀内崇弘
吉田健太郎
加納眞
並列タイトル等
Relationship between mass density and hardness, Raman spectrum of DLC films deposited by different coating methods and conditions
タイトル(掲載誌)
研究報告
巻号年月日等(掲載誌)
2011(17)
掲載巻
2011(17)
本文の言語コード
jpn
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/11615785