異なる成膜方法,成膜条件で作製されたDLC膜の膜密度と膜硬度,ラマンスペクトルの関係
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国立国会図書館デジタルコレクション
書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 堀内崇弘吉田健太郎加納眞
- 並列タイトル等
- Relationship between mass density and hardness, Raman spectrum of DLC films deposited by different coating methods and conditions
- タイトル(掲載誌)
- 研究報告
- 巻号年月日等(掲載誌)
- 2011(17)
- 掲載巻
- 2011(17)
- 本文の言語コード
- jpn
- 国立国会図書館永続的識別子
- info:ndljp/pid/11615785