大気圧プラズマCVD法で作製した非晶質炭素膜による酸素透過率低減
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国立国会図書館デジタルコレクション
書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 渡邊敏行畔栁智栄子平子智章
- 並列タイトル等
- Amorphous carbon films deposited by atmospheric-pressure plasma chemical vapor deposition for reduction of oxygen transmission ratio
- タイトル(掲載誌)
- 研究報告
- 巻号年月日等(掲載誌)
- 2012(18)
- 掲載巻
- 2012(18)
- 本文の言語コード
- jpn
- 国立国会図書館永続的識別子
- info:ndljp/pid/11615808