巻号2016
X線反射率及びX線光...

X線反射率及びX線光電子分光法による多層膜構造分析

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X線反射率及びX線光電子分光法による多層膜構造分析

国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/12305040
資料種別
記事
著者
福岡修ほか
出版者
あいち産業科学技術総合センター
出版年
2016
資料形態
デジタル
掲載誌名
あいち産業科学技術総合センター研究報告 2016
掲載ページ
-
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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
福岡修
杉本貴紀
野本豊和
出版年月日等
2016
出版年(W3CDTF)
2016
並列タイトル等
Analysis of the multilayer film by X-ray reflectivity and X-ray photoelectron spectroscopy
タイトル(掲載誌)
あいち産業科学技術総合センター研究報告
巻号年月日等(掲載誌)
2016
掲載巻
2016