X線反射率及びX線光電子分光法による多層膜構造分析
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国立国会図書館デジタルコレクション
書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 福岡修杉本貴紀野本豊和
- 出版年月日等
- 2016
- 出版年(W3CDTF)
- 2016
- 並列タイトル等
- Analysis of the multilayer film by X-ray reflectivity and X-ray photoelectron spectroscopy
- タイトル(掲載誌)
- あいち産業科学技術総合センター研究報告
- 巻号年月日等(掲載誌)
- 2016
- 掲載巻
- 2016