電子顕微鏡用アパーチャーの微細孔加工技術の開発 : モリブデン箔の電解エッチング加工

• 資料種別: 記事
• タイトル: 電子顕微鏡用アパーチャーの微細孔加工技術の開発 : モリブデン箔の電解エッチング加工
• 著者・編者: 出口貴久; 外舘公生
• 出版事項: 日本 : 埼玉県
• 出版年月日等: 2009
• 出版年（W3CDTF）: 2009
• 並列タイトル等: Development of microscopic hole machining technique for aperture of SEM : electrolytic etching machining of molybdenum foil
• タイトル（掲載誌）: 埼玉県産業技術総合センター研究報告
• 巻号年月日等（掲載誌）: 平成20年度(7)
• 掲載巻: 平成20年度(7)
• 本文の言語コード: jpn
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/12322221; https://dl.ndl.go.jp/pid/12322221
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 地方公共団体 > 都道府県 > 埼玉県; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00057
• 収集根拠: インターネット資料収集保存事業（WARP）
• 受理日（W3CDTF）: 2022-09-08T15:24:05+09:00
• 保存日（W3CDTF）: 2022-01-26
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（URI）: https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/12051130/www.pref.saitama.lg.jp/saitec/kenkyukaihatsu/kenkyuhokoku/h20vol7.html
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/12322219; https://dl.ndl.go.jp/pid/12322219
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp