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Volume number平成20年度 (7)
電子顕微鏡用アパーチ...

電子顕微鏡用アパーチャーの微細孔加工技術の開発 : モリブデン箔の電解エッチング加工

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電子顕微鏡用アパーチャーの微細孔加工技術の開発 : モリブデン箔の電解エッチング加工

Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/12322221
Material type
記事
Author
出口貴久ほか
Publisher
埼玉県
Publication date
2009
Material Format
Digital
Journal name
埼玉県産業技術総合センター研究報告 平成20年度(7)
Publication Page
-
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Bibliographic Record

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Digital

Material Type
記事
Author/Editor
出口貴久
外舘公生
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2009
Publication Date (W3CDTF)
2009
Alternative Title
Development of microscopic hole machining technique for aperture of SEM : electrolytic etching machining of molybdenum foil
Periodical title
埼玉県産業技術総合センター研究報告
No. or year of volume/issue
平成20年度(7)
Volume
平成20年度(7)