金属有機化合物分解法による酸化物半導体薄膜の成長
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 西本尚己
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2021-03
- 出版年(W3CDTF)
- 2021-03
- 並列タイトル等
- Growth of oxide semiconductor thin films by metal-organic decomposition
- タイトル(掲載誌)
- 島根県産業技術センター研究報告
- 巻号年月日等(掲載誌)
- (57)
- 掲載巻
- (57)