高アスペクト比ホールの寸法測定を可能にした高エネルギー走査電子顕微鏡「ミラクルアイ」

• 資料種別: 記事
• タイトル: 高アスペクト比ホールの寸法測定を可能にした高エネルギー走査電子顕微鏡「ミラクルアイ」
• 著者・編者: 戸所秀男; 水野文夫
• 出版事項: 日本 : 日立評論社
• 出版年月日等: 1994-07
• 出版年（W3CDTF）: 1994-07
• 並列タイトル等: High energy scanning electron microscope for measurement of high-aspect ratio holes
• タイトル（掲載誌）: 日立評論
• 巻号年月日等（掲載誌）: 76(7)
• 掲載巻: 76(7)
• 本文の言語コード: jpn
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/12902900; https://dl.ndl.go.jp/pid/12902900
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
• 収集根拠: インターネット資料収集保存事業（WARP）
• 受理日（W3CDTF）: 2023-07-06T10:42:19+09:00
• 保存日（W3CDTF）: 2022-03-21
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（URI）: https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/12199112/www.hitachihyoron.com/jp/archive/1990s/1994/07.html
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/12902884; https://dl.ndl.go.jp/pid/12902884
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp