高アスペクト比ホールの寸法測定を可能にした高エネルギー走査電子顕微鏡「ミラクルアイ」

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/12902900

Material type: 記事

Author: 戸所秀男ほか

Publisher: 日立評論社

Publication date: 1994-07

Material Format: Digital

Journal name: 日立評論 76(7)

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Digital

Material Type: 記事
Title: 高アスペクト比ホールの寸法測定を可能にした高エネルギー走査電子顕微鏡「ミラクルアイ」
Author/Editor: 戸所秀男
水野文夫
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 日立評論社
Publication Date: 1994-07
Publication Date (W3CDTF): 1994-07
Alternative Title: High energy scanning electron microscope for measurement of high-aspect ratio holes
Periodical title: 日立評論
No. or year of volume/issue: 76(7)
Volume: 76(7)
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/12902900
https://dl.ndl.go.jp/pid/12902900
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
Acquisition Basis: インターネット資料収集保存事業（WARP）
Date Accepted (W3CDTF): 2023-07-06T10:42:19+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2022-03-21
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Availability of remote photoduplication service: 不可
Periodical Title (URI): https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/12199112/www.hitachihyoron.com/jp/archive/1990s/1994/07.html
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/12902884
https://dl.ndl.go.jp/pid/12902884
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp

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