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機能性材料形成装置の開発とセンサー・分析への応用に関する研究

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機能性材料形成装置の開発とセンサー・分析への応用に関する研究

国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/12970266
資料種別
博士論文
著者
仲林, 裕司
出版者
-
出版年
2023-03-14
資料形態
デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
金沢工業大学,博士(工学)
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type:学位論文;Thesis or Dissertation本論文は,ミスト化学気相成長法及びミストデポジション法を用いた材料形成装置を開発し,形成した機能性材料の物性評価により明らかとなった特性をセンサー・分析分野へ応用した研究についてまとめている. 形成した機能性材料は,酸化ガリウム薄膜では...

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
著者・編者
仲林, 裕司
著者標目
出版年月日等
2023-03-14
出版年(W3CDTF)
2023-03-14
並列タイトル等
キノウセイザイリョウケイセイソウチノカイハツトセンサー・ブンセキヘノオウヨウニカンスルケンキュウ
授与機関名
金沢工業大学
授与年月日
2023-03-14
授与年月日(W3CDTF)
2023-03-14