エピタキシャルAl₂O₃/Si構造の耐放射線性に関する研究
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 葉山清輝岩村義明高倉健一郎
- 出版年月日等
- 2008-12
- 出版年(W3CDTF)
- 2008-12
- 並列タイトル等
- Radiation damage in epitaxial Al₂O₃ films on Si by high energy particles irradiation
- タイトル(掲載誌)
- 熊本電波工業高等専門学校研究紀要
- 巻号年月日等(掲載誌)
- (35)
- 掲載巻
- (35)