酸化イットリウム・窒化アルミニウム薄膜の低温形成法に関する研究

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資料種別: 博士論文
タイトル: 酸化イットリウム・窒化アルミニウム薄膜の低温形成法に関する研究
著者・編者: 齋藤, 健太郎
出版事項: 齋藤, 健太郎
出版年月日等: 2023
出版年（W3CDTF）: 2023
授与機関名: 山形大学
授与年月日: 2023-03-31
授与年月日（W3CDTF）: 2023-03-31
報告番号: 甲第1527号
学位: 博士(工学)
本文の言語コード: jpn
国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/13365761
https://dl.ndl.go.jp/pid/13365761
コレクション（共通）: 障害者向け資料
コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
収集根拠: 博士論文（送信）
受理日（W3CDTF）: 2024-03-08T10:25:08+09:00
記録形式（IMT）: application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
遠隔複写可否（NDL）: 不可
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp