酸化イットリウム・窒化アルミニウム薄膜の低温形成法に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 酸化イットリウム・窒化アルミニウム薄膜の低温形成法に関する研究
Author/Editor: 齋藤, 健太郎
Publication, Distribution, etc.: 齋藤, 健太郎
Publication Date: 2023
Publication Date (W3CDTF): 2023
Degree grantor/type: 山形大学
Date Granted: 2023-03-31
Date Granted (W3CDTF): 2023-03-31
Dissertation Number: 甲第1527号
Degree Type: 博士(工学)
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/13365761
https://dl.ndl.go.jp/pid/13365761
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
Acquisition Basis: 博士論文（送信）
Date Accepted (W3CDTF): 2024-03-08T10:25:08+09:00
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Availability of remote photoduplication service: 不可
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp