Water vapor in DC reactive magnetron sputtering plasma : characteristics and applications

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Water vapor in DC reactive magnetron sputtering plasma : characteristics and applications
• 著者・編者: Catapang, Allen Vincent Barabona
• 著者標目: Catapang, Allen Vincent Barabona
• 出版年月日等: 2023-09-20
• 出版年（W3CDTF）: 2023-09-20
• 並列タイトル等: 反応性マグネトロンスパッタリングプラズマ中の水蒸気 : 特徴と応用; ハンノウセイ マグネトロン スパッタリング プラズマチュウ ノ スイジョウキ : トクチョウ ト オウヨウ
• 授与機関名: 同志社大学
• 授与年月日: 2023-09-20
• 授与年月日（W3CDTF）: 2023-09-20
• 報告番号: 甲第1311号
• 学位: 博士(工学); Doctor of Philosophy in Engineering
• 本文の言語コード: eng; jpn
• 著者別名: カタパング, アレン ビンセント バラボナ
• 件名標目: reactive magnetron sputtering; plasma-material science; plasma diagnostics
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: application/pdf
• DOI: 10.14988/0002000098; https://doi.org/10.14988/0002000098
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/13731126; https://dl.ndl.go.jp/pid/13731126
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
• 収集根拠: 博士論文（自動収集）
• 受理日（W3CDTF）: 2024-08-02T22:09:19+09:00
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
• デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
• 遠隔複写可否（NDL）: 可
• 掲載誌（URI）: https://doi.org/10.14988/0002000098; https://doshisha.repo.nii.ac.jp/records/2000098
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

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