半導体材料ガスに対する部材の耐性評価技術

• 資料種別: 記事
• タイトル: 半導体材料ガスに対する部材の耐性評価技術
• 著者・編者: 鈴木克昌
• 出版事項: 日本 : 大陽日酸
• 出版年月日等: 2019-03
• 出版年（W3CDTF）: 2019-03
• 並列タイトル等: Resistant-test of various materials in reactive gasses
• タイトル（掲載誌）: 大陽日酸技報
• 巻号年月日等（掲載誌）: (37)
• 掲載巻: (37)
• 本文の言語コード: jpn
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/13763150; https://dl.ndl.go.jp/pid/13763150
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
• 収集根拠: インターネット資料収集保存事業（WARP）
• 受理日（W3CDTF）: 2024-10-11T08:47:47+09:00
• 保存日（W3CDTF）: 2019-03-19
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（URI）: https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/11253865/www.tn-sanso.co.jp/jp/rd/giho/report37.html
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/13763145; https://dl.ndl.go.jp/pid/13763145
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp