半導体材料ガスに対する部材の耐性評価技術

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Material Type: 記事
Title: 半導体材料ガスに対する部材の耐性評価技術
Author/Editor: 鈴木克昌
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 大陽日酸
Publication Date: 2019-03
Publication Date (W3CDTF): 2019-03
Alternative Title: Resistant-test of various materials in reactive gasses
Periodical title: 大陽日酸技報
No. or year of volume/issue: (37)
Volume: (37)
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/13763150
https://dl.ndl.go.jp/pid/13763150
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
Acquisition Basis: インターネット資料収集保存事業（WARP）
Date Accepted (W3CDTF): 2024-10-11T08:47:47+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2019-03-19
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Availability of remote photoduplication service: 不可
Periodical Title (URI): https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/11253865/www.tn-sanso.co.jp/jp/rd/giho/report37.html
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/13763145
https://dl.ndl.go.jp/pid/13763145
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp