高アスペクト比構造への高濃度H₂O₂ガス供給装置(Peroxidizer)を用いたALD成膜プロセス

• 資料種別: 記事
• タイトル: 高アスペクト比構造への高濃度H₂O₂ガス供給装置(Peroxidizer)を用いたALD成膜プロセス
• 著者・編者: 幸田祥人; 村田逸人; 髙洋志
• 出版事項: 日本 : 大陽日酸
• 出版年月日等: 2023-03
• 出版年（W3CDTF）: 2023-03
• 並列タイトル等: ALD process using hydrogen peroxide (H₂O₂mix) for high aspect ratio structures
• タイトル（掲載誌）: 大陽日酸技報
• 巻号年月日等（掲載誌）: (41)
• 掲載巻: (41)
• 本文の言語コード: jpn
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/13763215; https://dl.ndl.go.jp/pid/13763215
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
• 収集根拠: インターネット資料収集保存事業（WARP）
• 受理日（W3CDTF）: 2024-10-11T08:47:47+09:00
• 保存日（W3CDTF）: 2023-04-17
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（URI）: https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/12854078/www.tn-sanso.co.jp/jp/rd/giho/report41.html
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/13763211; https://dl.ndl.go.jp/pid/13763211
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp