高アスペクト比構造への高濃度H₂O₂ガス供給装置(Peroxidizer)を用いたALD成膜プロセス

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/13763215

Material type: 記事

Author: 幸田祥人ほか

Publisher: 大陽日酸

Publication date: 2023-03

Material Format: Digital

Journal name: 大陽日酸技報 (41)

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Digital

Material Type: 記事
Title: 高アスペクト比構造への高濃度H₂O₂ガス供給装置(Peroxidizer)を用いたALD成膜プロセス
Author/Editor: 幸田祥人
村田逸人
髙洋志
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 大陽日酸
Publication Date: 2023-03
Publication Date (W3CDTF): 2023-03
Alternative Title: ALD process using hydrogen peroxide (H₂O₂mix) for high aspect ratio structures
Periodical title: 大陽日酸技報
No. or year of volume/issue: (41)
Volume: (41)
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/13763215
https://dl.ndl.go.jp/pid/13763215
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
Acquisition Basis: インターネット資料収集保存事業（WARP）
Date Accepted (W3CDTF): 2024-10-11T08:47:47+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2023-04-17
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Availability of remote photoduplication service: 不可
Periodical Title (URI): https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/12854078/www.tn-sanso.co.jp/jp/rd/giho/report41.html
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/13763211
https://dl.ndl.go.jp/pid/13763211
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp

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