多重磁極マグネトロンスパッタ法を用いプラズマ照射機能を制御して作製したCo薄膜のイオン照射効果の検討

• 資料種別: 記事
• タイトル: 多重磁極マグネトロンスパッタ法を用いプラズマ照射機能を制御して作製したCo薄膜のイオン照射効果の検討
• 著者・編者: 河原拓海; 豊田宏
• 出版事項: 日本 : 電気・情報関連学会中国支部連合大会
• 出版年月日等: 2025
• 出版年（W3CDTF）: 2025
• 並列タイトル等: Examination of ion irradiation effects of Co thin films fabricated by controlling plasma irradiation using magnetron sputtering with multipolar confinement
• タイトル（掲載誌）: 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2025年度(76)
• 掲載巻: 2025年度(76)
• 本文の言語コード: jpn
• 一般注記: 出版日は収集年による
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/14605214; https://dl.ndl.go.jp/pid/14605214
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
• 収集根拠: オンライン資料収集制度
• 受理日（W3CDTF）: 2025-12-22T10:34:57+09:00
• 保存日（W3CDTF）: 2025-12-22
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/14611231; https://dl.ndl.go.jp/pid/14611231
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp