多重磁極マグネトロンスパッタ法を用いプラズマ照射機能を制御して作製したCo薄膜のイオン照射効果の検討

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/14605214

Material type: 記事

Author: 河原拓海ほか

Publisher: 電気・情報関連学会中国支部連合大会

Publication date: 2025

Material Format: Digital

Journal name: 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集 2025年度(76)

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Digital

Material Type: 記事
Title: 多重磁極マグネトロンスパッタ法を用いプラズマ照射機能を制御して作製したCo薄膜のイオン照射効果の検討
Author/Editor: 河原拓海
豊田宏
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 電気・情報関連学会中国支部連合大会
Publication Date: 2025
Publication Date (W3CDTF): 2025
Alternative Title: Examination of ion irradiation effects of Co thin films fabricated by controlling plasma irradiation using magnetron sputtering with multipolar confinement
Periodical title: 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集
No. or year of volume/issue: 2025年度(76)
Volume: 2025年度(76)
Text Language Code: jpn
Note (General): 出版日は収集年による
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/14605214
https://dl.ndl.go.jp/pid/14605214
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
Acquisition Basis: オンライン資料収集制度
Date Accepted (W3CDTF): 2025-12-22T10:34:57+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2025-12-22
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Availability of remote photoduplication service: 不可
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/14611231
https://dl.ndl.go.jp/pid/14611231
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp

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