誘導結合プラズマ支援型非平衡マグネトロンスパッタ法を用いてプラズマ照射による表面処理を施したフッ素樹脂基板上に成膜したNi薄膜の応力評価および剥離率の関係性

• 資料種別: 記事
• タイトル: 誘導結合プラズマ支援型非平衡マグネトロンスパッタ法を用いてプラズマ照射による表面処理を施したフッ素樹脂基板上に成膜したNi薄膜の応力評価および剥離率の関係性
• 著者・編者: 今城貴仁; 豊田宏
• 出版事項: 日本 : 電気・情報関連学会中国支部連合大会
• 出版年月日等: 2025
• 出版年（W3CDTF）: 2025
• 並列タイトル等: Relationship between internal stress characterization and peel strength of Ni thin films deposited on plasma-pretreated fluoropolymer substrates by unbalanced magnetron sputtering assisted inductively coupled plasma
• タイトル（掲載誌）: 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2025年度(76)
• 掲載巻: 2025年度(76)
• 本文の言語コード: jpn
• 一般注記: 出版日は収集年による
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/14605215; https://dl.ndl.go.jp/pid/14605215
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
• 収集根拠: オンライン資料収集制度
• 受理日（W3CDTF）: 2025-12-22T10:34:57+09:00
• 保存日（W3CDTF）: 2025-12-22
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/14611231; https://dl.ndl.go.jp/pid/14611231
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp