誘導結合プラズマ支援型非平衡マグネトロンスパッタ法を用いてプラズマ照射による表面処理を施したフッ素樹脂基板上に成膜したNi薄膜の応力評価および剥離率の関係性

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/14605215

Material type: 記事

Author: 今城貴仁ほか

Publisher: 電気・情報関連学会中国支部連合大会

Publication date: 2025

Material Format: Digital

Journal name: 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集 2025年度(76)

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Material Type: 記事
Title: 誘導結合プラズマ支援型非平衡マグネトロンスパッタ法を用いてプラズマ照射による表面処理を施したフッ素樹脂基板上に成膜したNi薄膜の応力評価および剥離率の関係性
Author/Editor: 今城貴仁
豊田宏
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 電気・情報関連学会中国支部連合大会
Publication Date: 2025
Publication Date (W3CDTF): 2025
Alternative Title: Relationship between internal stress characterization and peel strength of Ni thin films deposited on plasma-pretreated fluoropolymer substrates by unbalanced magnetron sputtering assisted inductively coupled plasma
Periodical title: 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集
No. or year of volume/issue: 2025年度(76)
Volume: 2025年度(76)
Text Language Code: jpn
Note (General): 出版日は収集年による
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/14605215
https://dl.ndl.go.jp/pid/14605215
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
Acquisition Basis: オンライン資料収集制度
Date Accepted (W3CDTF): 2025-12-22T10:34:57+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2025-12-22
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Availability of remote photoduplication service: 不可
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/14611231
https://dl.ndl.go.jp/pid/14611231
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp

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