STMによる塩素吸着したSi(111)7×7表面の紫外レーザーエッチングの研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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p1
走査トンネル顕微鏡写真のリスト
p2
1 序論
p3
1-1 総序
p3
1-2 半導体シリコンの塩素による光エッチング
p4
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- STM ニ ヨル エンソ キュウチャクシタ Si(111) 7 7 ヒョウメン ノ シガイ レーザー エッチング ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 村主学 [著]
- 著者標目
- 村主, 学 スグリ, マナブ
- 授与機関名
- 東京大学
- 授与年月日
- 平成5年3月15日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1993
- 報告番号
- 甲第9788号
- 学位
- 博士 (理学)