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博士論文

STMによる塩素吸着したSi(111)7×7表面の紫外レーザーエッチングの研究

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STMによる塩素吸着したSi(111)7×7表面の紫外レーザーエッチングの研究

Call No. (NDL)
UT51-94-N118
Bibliographic ID of National Diet Library
000000273108
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3095323
Material type
博士論文
Author
村主学 [著]
Publisher
-
Date granted
平成5年3月15日
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Degree grantor and degree
東京大学,博士 (理学)
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Note (General)：

博士論文

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Table of Contents

Provided by：国立国会図書館デジタルコレクション

  • 目次

    p1

  • 走査トンネル顕微鏡写真のリスト

    p2

  • 1 序論

    p3

  • 1-1 総序

    p3

  • 1-2 半導体シリコンの塩素による光エッチング

    p4

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
STMによる塩素吸着したSi(111)7×7表面の紫外レーザーエッチングの研究
Title Transcription
STM ニ ヨル エンソ キュウチャクシタ Si(111) 7 7 ヒョウメン ノ シガイ レーザー エッチング ノ ケンキュウ
Author/Editor
村主学 [著]
Author Heading
村主, 学 スグリ, マナブ
Degree Grantor
東京大学
Date Granted
平成5年3月15日
Date Granted (W3CDTF)
1993
Dissertation Number
甲第9788号
Degree Type
博士 (理学)