Research on ultraclean wet technology for ULSI silicon devices
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目次
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Table of Contents
p1
CHAPTER1 INTRODUCTION
p1
1.1.General Background
p1
1.2.Background of Wafer Cleaning Technology
p2
1.3.Objectives and Approach
p6
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 金鐘秀 [著]
- 著者標目
- 金, 鐘秀 キン, ショウシュウ
- 並列タイトル等
- ULSI用高性能ウェットプロセスの研究 ULSIヨウ コウセイノウ ウェット プロセス ノ ケンキュウ
- 授与機関名
- 東北大学
- 授与年月日
- 平成10年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1998
- 報告番号
- 甲第6437号
- 学位
- 博士 (工学)