高融点金属酸化物薄膜レジストによる集束イオンビームナノリソグラフィ

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 高融点金属酸化物薄膜レジストによる集束イオンビームナノリソグラフィ
• タイトルよみ: コウユウテン キンゾク サンカブツ ハクマク レジスト ニ ヨル シュウソク イオン ビーム ナノ リソグラフィ
• 著者・編者: 橋本雅広 [著]
• 著者標目: 橋本, 雅広 ハシモト, マサヒロ
• 授与機関名: 東京農工大学
• 授与年月日: 平成11年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1999
• 報告番号: 甲第217号
• 学位: 博士(工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-99-P428
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000339188; http://id.ndl.go.jp/bib/000000339188
• 整理区分コード: 213

• DOI: 10.11501/3153947; https://doi.org/10.11501/3153947
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/3153947; https://dl.ndl.go.jp/pid/3153947
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（障害者向け資料：レベル2）: プレーンテキスト
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
• 製作者: 国立国会図書館
• 受理日（W3CDTF）: 2011-12-05T17:24:35+09:00
• 記録形式（IMT）: image/jp2
• オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
• デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象
• 遠隔複写可否（NDL）: 可
• 請求記号: UT51-99-P428
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

目次

要旨

目次

第1章 序論

1.1 微細加工技術の現状

1.2 研究目的