高融点金属酸化物薄膜レジストによる集束イオンビームナノリソグラフィ

• Material Type: 博士論文
• Title: 高融点金属酸化物薄膜レジストによる集束イオンビームナノリソグラフィ
• Title Transcription: コウユウテン キンゾク サンカブツ ハクマク レジスト ニ ヨル シュウソク イオン ビーム ナノ リソグラフィ
• Author/Editor: 橋本雅広 [著]
• Author Heading: 橋本, 雅広 ハシモト, マサヒロ
• Degree Grantor: 東京農工大学
• Date Granted: 平成11年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 1999
• Dissertation Number: 甲第217号
• Degree Type: 博士(工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-99-P428
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000339188; http://id.ndl.go.jp/bib/000000339188
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

• DOI: 10.11501/3153947; https://doi.org/10.11501/3153947
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/3153947; https://dl.ndl.go.jp/pid/3153947
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (Materials For Handicapped People:2): プレーンテキスト
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
• Producer: 国立国会図書館
• Date Accepted (W3CDTF): 2011-12-05T17:24:35+09:00
• Format (IMT): image/jp2
• Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
• Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象
• Availability of remote photoduplication service: 可
• Call No.: UT51-99-P428
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

Table of Contents

要旨

目次

第1章 序論

1.1 微細加工技術の現状

1.2 研究目的