イオン散乱・反跳分光法による半導体表面・界面の研究
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目次
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Contents
p3
第1章 はじめに
p1
参考文献
p7
第2章 イオン散乱･反跳の測定原理
p10
2-1 緒言
p10
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- イオン サンラン ハンチョウ ブンコウホウ ニ ヨル ハンドウタイ ヒョウメン カイメン ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 布瀬暁志 [著]
- 著者標目
- 布瀬, 暁志 フセ, タカシ
- 授与機関名
- 大阪大学
- 授与年月日
- 平成11年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1999
- 報告番号
- 甲第6927号
- 学位
- 博士 (工学)