角度分解X線光電子分光分析法によるSiO[2]/Si(100) 系の評価 : 光電子回折および非弾性散乱過程の影響に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 角度分解X線光電子分光分析法によるSiO[2]/Si(100) 系の評価 : 光電子回折および非弾性散乱過程の影響に関する研究
• タイトルよみ: カクド ブンカイ Xセン コウデンシ ブンコウ ブンセキ ホウ ニ ヨル SiO2/Si(100) ケイ ノ ヒョウカ : コウデンシ カイセツ オヨビ ヒダンセイ サンラン カテイ ノ エイキョウ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 片山俊治 [著]
• 著者標目: 片山, 俊治 カタヤマ, トシハル
• 数量: 冊
• 授与機関名: 大阪大学
• 授与年月日: 平成11年9月30日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1999
• 報告番号: 甲第7092号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-99-Z157
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000347048; http://id.ndl.go.jp/bib/000000347048
• 整理区分コード: 213

• DOI: 10.11501/3161855; https://doi.org/10.11501/3161855
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/3161855; https://dl.ndl.go.jp/pid/3161855
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（障害者向け資料：レベル2）: プレーンテキスト
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
• 製作者: 国立国会図書館
• 受理日（W3CDTF）: 2011-12-06T10:45:32+09:00
• 記録形式（IMT）: image/jp2
• オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
• デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象
• 遠隔複写可否（NDL）: 可
• 請求記号: UT51-99-Z157
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

目次

目次

第1章 序論

参考文献

第2章 角度分解X線光電子分光分析法

2.1 序