Ⅲ-Ⅴ族半導体の反応性ビームエッチング技術の開発と光デバイスへの応用に関する研究
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論文目録
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p3
第1章 序論
p1
1-1 はじめに
p1
1-2 本研究の背景と目的
p3
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- Ⅲ-Ⅴゾク ハンドウタイ ノ ハンノウセイ ビーム エッチング ギジュツ ノ カイハツ ト ヒカリ デバイス エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 奥哲 [著]
- 著者標目
- 奥, 哲 オク, サトシ
- 授与機関名
- 京都大学
- 授与年月日
- 平成12年7月24日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 2000
- 報告番号
- 乙第10466号
- 学位
- 博士 (工学)