イオンビームミキシング法によって作製したTi-N系膜に関する研究
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第1章 緒論
p1
第1節 はじめに
p1
第2節 表面改質技術の概要
p2
第3節 イオン注入法
p5
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- イオン ビーム ミキシングホウ ニ ヨッテ サクセイシタ Ti-Nケイマク ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 荒木弘治 [著]
- 著者標目
- 荒木, 弘治 アラキ, ヒロジ
- 授与機関名
- 関西大学
- 授与年月日
- 平成10年9月21日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1998
- 報告番号
- 乙第236号
- 学位
- 博士 (工学)