イオンビームミキシング法によって作製したTi-N系膜に関する研究
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Table of Contents
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目次
第1章 緒論
p1
第1節 はじめに
p1
第2節 表面改質技術の概要
p2
第3節 イオン注入法
p5
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- イオン ビーム ミキシングホウ ニ ヨッテ サクセイシタ Ti-Nケイマク ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 荒木弘治 [著]
- Author Heading
- 荒木, 弘治 アラキ, ヒロジ
- Degree Grantor
- 関西大学
- Date Granted
- 平成10年9月21日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1998
- Dissertation Number
- 乙第236号
- Degree Type
- 博士 (工学)