A Study on the Micro-structure of Si Thin Films on Sapphires by a New Grazing Incidence X-ray Diffractometer

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: A Study on the Micro-structure of Si Thin Films on Sapphires by a New Grazing Incidence X-ray Diffractometer
• 著者・編者: 松野信也 [著]
• 著者標目: 松野, 信也 マツノ, シンヤ
• 出版事項: [松野信也]
• 出版年月日等: [2000]
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 新斜入射X線回折装置によるサファイヤ基板上シリコン薄膜のミクロ構造に関する研究 シン シャニュウシャ Xセン カイセツ ソウチ ニ ヨル サファイヤ キバン ジョウ シリコン ハクマク ノ ミクロ コウゾウ ニ カンスル ケンキュウ
• 授与機関名: 九州大学
• 授与年月日: 平成12年10月23日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2000
• 報告番号: 乙第7124号
• 学位: 博士 (理学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2001-A242
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000395605; http://id.ndl.go.jp/bib/000000395605
• 整理区分コード: 213

目次

Contents

Chapter 1 Introduction

1-1.Background and purpose of the present study

1-2.Brief historical review of grazing incidence x-ray scattering

1-3.Scope of the present study