A Study on the Micro-structure of Si Thin Films on Sapphires by a New Grazing Incidence X-ray Diffractometer

• Material Type: 博士論文
• Title: A Study on the Micro-structure of Si Thin Films on Sapphires by a New Grazing Incidence X-ray Diffractometer
• Author/Editor: 松野信也 [著]
• Author Heading: 松野, 信也 マツノ, シンヤ
• Publication, Distribution, etc.: [松野信也]
• Publication Date: [2000]
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 新斜入射X線回折装置によるサファイヤ基板上シリコン薄膜のミクロ構造に関する研究 シン シャニュウシャ Xセン カイセツ ソウチ ニ ヨル サファイヤ キバン ジョウ シリコン ハクマク ノ ミクロ コウゾウ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree Grantor: 九州大学
• Date Granted: 平成12年10月23日
• Date Granted (W3CDTF): 2000
• Dissertation Number: 乙第7124号
• Degree Type: 博士 (理学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2001-A242
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000395605; http://id.ndl.go.jp/bib/000000395605
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

Contents

Chapter 1 Introduction

1-1.Background and purpose of the present study

1-2.Brief historical review of grazing incidence x-ray scattering

1-3.Scope of the present study