Studies of Micro Optical Components Based on Si Anisotropically Etching and Molding Technology

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Studies of Micro Optical Components Based on Si Anisotropically Etching and Molding Technology
• 著者・編者: 李以貴 [著]
• 著者標目: 李, 以貴 リ, イゲイ
• 出版事項: [李以貴]
• 出版年月日等: 2001
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: シリコン異方性エッチングとモールド技術に基づいた微小光学部品の研究 シリコン イホウセイ エッチング ト モールド ギジュツ ニ モトズイタ ビショウ コウガク ブヒン ノ ケンキュウ
• 授与機関名: 東北大学
• 授与年月日: 平成13年3月26日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2001
• 報告番号: 甲第7916号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2001-N695
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000409454; http://id.ndl.go.jp/bib/000000409454
• 整理区分コード: 213

目次

Contents

1.Introduction

1.1.Micro-optical components

1.2.2D and 3D structure processes of micro optical components

1.3.The problems of micro optical components process