空気清浄 : コンタミネーションコントロール30(2)(198)

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: 空気清浄 : コンタミネーションコントロール
• タイトルよみ: クウキ セイジョウ : コンタミネーション コントロール
• 巻次・部編番号: 30(2)(198)
• 著者標目: 日本空気清浄協会 ニホン クウキ セイジョウ キョウカイ ( 00294193 )典拠
• 出版事項: 東京 : 日本空気清浄協会
• 出版年月日等: 1992-06
• 出版年（W3CDTF）: 1992-06
• 刊行巻次・年月次: 1巻1号(1964年3月)-2巻4号(1965年3月),3巻1号通巻6号(1965年6月)-
• 大きさ: 30cm
• 並列タイトル等: Journal of Japan Air Cleaning Association
• ISSN（掲載誌）: 0023-5032
• ISSN-L（掲載誌）: 0023-5032
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZN1
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による; 大きさの変更あり
• DOI: 10.11501/3215003; https://doi.org/10.11501/3215003
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/3215003; https://dl.ndl.go.jp/pid/3215003
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
• 製作者: 国立国会図書館
• 製作年（W3CDTF）: 2011-03-31
• 受理日（W3CDTF）: 2012-01-27T11:55:09+09:00
• 記録形式（IMT）: image/jp2
• オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
• デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象
• 遠隔複写可否（NDL）: 可
• 所蔵巻次・年月次（所蔵事項）: 1巻1号(1964年3月)-2巻4号(1965年3月),3巻1号通巻6号(1965年6月)-
• 請求記号: Z16-98
• 原資料（JPNO）: 00005961
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/3380766; https://dl.ndl.go.jp/pid/3380766
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

目次

特集 クリーンウェハ搬送とIC製造自動化(1)

ウェハ大口径化とIC製造自動化

クリーンウェハ搬送システム

IC製造自動化とチャージアップ防止

ウェハ搬送とクリーンルーム気流制御