空気清浄 : コンタミネーションコントロール30(2)(198)

• Material Type: 雑誌
• Title: 空気清浄 : コンタミネーションコントロール
• Title Transcription: クウキ セイジョウ : コンタミネーション コントロール
• Volume: 30(2)(198)
• Author Heading: 日本空気清浄協会 ニホン クウキ セイジョウ キョウカイ ( 00294193 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : 日本空気清浄協会
• Publication Date: 1992-06
• Publication Date (W3CDTF): 1992-06
• Year and volume of publication: 1巻1号(1964年3月)-2巻4号(1965年3月),3巻1号通巻6号(1965年6月)-
• Size: 30cm
• Alternative Title: Journal of Japan Air Cleaning Association
• ISSN (Periodical Title): 0023-5032
• ISSN-L (Periodical Title): 0023-5032
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: ZN1
• Note (General): 本タイトル等は最新号による; 大きさの変更あり
• DOI: 10.11501/3215003; https://doi.org/10.11501/3215003
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/3215003; https://dl.ndl.go.jp/pid/3215003
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
• Producer: 国立国会図書館
• Production year (W3CDTF): 2011-03-31
• Date Accepted (W3CDTF): 2012-01-27T11:55:09+09:00
• Format (IMT): image/jp2
• Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
• Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象
• Availability of remote photoduplication service: 可
• Year and volume of holding: 1巻1号(1964年3月)-2巻4号(1965年3月),3巻1号通巻6号(1965年6月)-
• Call No.: Z16-98
• Original Material (JPNO): 00005961
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/3380766; https://dl.ndl.go.jp/pid/3380766
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

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特集 クリーンウェハ搬送とIC製造自動化(1)

ウェハ大口径化とIC製造自動化

クリーンウェハ搬送システム

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ウェハ搬送とクリーンルーム気流制御