法政大学イオンビーム工学研究所報告(9)

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: 法政大学イオンビーム工学研究所報告
• タイトルよみ: ホウセイ ダイガク イオン ビーム コウガク ケンキュウジョ ホウコク
• 巻次・部編番号: (9)
• 著者標目: 法政大学イオンビーム工学研究所 ホウセイ ダイガク イオン ビーム コウガク ケンキュウジョ ( 01153636 )典拠
• 出版事項: 小金井 : 法政大学イオンビーム工学研究所
• 出版年月日等: 1989-10
• 出版年（W3CDTF）: 1989-10
• 刊行巻次・年月次: 1号(1980)-
• 大きさ: 26cm
• 並列タイトル等: Report of Research Center of Ion Beam Technology, Hosei University
• ISSN（掲載誌）: 0286-0201
• ISSN-L（掲載誌）: 0286-0201
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZM35
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による
• DOI: 10.11501/3227679; https://doi.org/10.11501/3227679
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/3227679; https://dl.ndl.go.jp/pid/3227679
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
• 製作者: 国立国会図書館
• 製作年（W3CDTF）: 2011-03-31
• 受理日（W3CDTF）: 2012-01-27T14:11:31+09:00
• 記録形式（IMT）: image/jp2
• オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
• デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象
• 遠隔複写可否（NDL）: 可
• 所蔵巻次・年月次（所蔵事項）: 1号(1980)-
• 請求記号: Z15-411
• 原資料（JPNO）: 00036496
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/3381771; https://dl.ndl.go.jp/pid/3381771
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

目次

巻頭言

シリコンバイポーラLSIの現状と将来

走査型トンネル顕微鏡とその関連技術

イオンビームミキシングによるタングステンシリサイド層の形成

Ge/B二重イオン注入Siのラザフォード後方散乱法による評価