法政大学イオンビーム工学研究所報告(9)

• Material Type: 雑誌
• Title: 法政大学イオンビーム工学研究所報告
• Title Transcription: ホウセイ ダイガク イオン ビーム コウガク ケンキュウジョ ホウコク
• Volume: (9)
• Author Heading: 法政大学イオンビーム工学研究所 ホウセイ ダイガク イオン ビーム コウガク ケンキュウジョ ( 01153636 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 小金井 : 法政大学イオンビーム工学研究所
• Publication Date: 1989-10
• Publication Date (W3CDTF): 1989-10
• Year and volume of publication: 1号(1980)-
• Size: 26cm
• Alternative Title: Report of Research Center of Ion Beam Technology, Hosei University
• ISSN (Periodical Title): 0286-0201
• ISSN-L (Periodical Title): 0286-0201
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: ZM35
• Note (General): 本タイトル等は最新号による
• DOI: 10.11501/3227679; https://doi.org/10.11501/3227679
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/3227679; https://dl.ndl.go.jp/pid/3227679
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
• Producer: 国立国会図書館
• Production year (W3CDTF): 2011-03-31
• Date Accepted (W3CDTF): 2012-01-27T14:11:31+09:00
• Format (IMT): image/jp2
• Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
• Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象
• Availability of remote photoduplication service: 可
• Year and volume of holding: 1号(1980)-
• Call No.: Z15-411
• Original Material (JPNO): 00036496
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/3381771; https://dl.ndl.go.jp/pid/3381771
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

Table of Contents

巻頭言

シリコンバイポーラLSIの現状と将来

走査型トンネル顕微鏡とその関連技術

イオンビームミキシングによるタングステンシリサイド層の形成

Ge/B二重イオン注入Siのラザフォード後方散乱法による評価