超音波techno8(3)(85)

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: 超音波techno
• タイトルよみ: チョウオンパ techno
• 巻次・部編番号: 8(3)(85)
• 著者・編者: 超音波techno編集部 編
• 著者標目: 日本工業出版株式会社 ニホン コウギョウ シュッパン カブシキ ガイシャ ( 00346807 )典拠
• 出版事項: 東京 : 日本工業出版
• 出版年月日等: 1996-03
• 出版年（W3CDTF）: 1996-03
• 刊行巻次・年月次: 1巻1号=1号(1989年4月) -
• 大きさ: 26cm
• 並列タイトル等: Ultrasonic technology
• ISSN（掲載誌）: 0916-2410
• ISSN-L（掲載誌）: 0916-2410
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZM17; ZN11
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による; 欠番: 34号 刊行頻度の変更あり
• 総目次・総索引注記: 総目次・総索引あり
• DOI: 10.11501/3302280; https://doi.org/10.11501/3302280
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/3302280; https://dl.ndl.go.jp/pid/3302280
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
• 製作者: 国立国会図書館
• 製作年（W3CDTF）: 2011-03-31
• 受理日（W3CDTF）: 2012-01-27T19:09:32+09:00
• 記録形式（IMT）: image/jp2
• オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
• デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
• 遠隔複写可否（NDL）: 可
• 所蔵巻次・年月次（所蔵事項）: 1巻1号=1号(1989年4月) -
• 請求記号: Z14-1555
• 原資料（JPNO）: 00075690
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/3381473; https://dl.ndl.go.jp/pid/3381473
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

目次

<特集:半導体の洗浄および評価技術>

半導体の洗浄および評価技術

ハイメガソニックの発生と洗浄

電解イオン水を用いた洗浄技術

スクラブ洗浄技術