超音波techno8(3)(85)

• Material Type: 雑誌
• Title: 超音波techno
• Title Transcription: チョウオンパ techno
• Volume: 8(3)(85)
• Author/Editor: 超音波techno編集部 編
• Author Heading: 日本工業出版株式会社 ニホン コウギョウ シュッパン カブシキ ガイシャ ( 00346807 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : 日本工業出版
• Publication Date: 1996-03
• Publication Date (W3CDTF): 1996-03
• Year and volume of publication: 1巻1号=1号(1989年4月) -
• Size: 26cm
• Alternative Title: Ultrasonic technology
• ISSN (Periodical Title): 0916-2410
• ISSN-L (Periodical Title): 0916-2410
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: ZM17; ZN11
• Note (General): 本タイトル等は最新号による; 欠番: 34号 刊行頻度の変更あり
• Note (Cumulative Index): 総目次・総索引あり
• DOI: 10.11501/3302280; https://doi.org/10.11501/3302280
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/3302280; https://dl.ndl.go.jp/pid/3302280
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
• Producer: 国立国会図書館
• Production year (W3CDTF): 2011-03-31
• Date Accepted (W3CDTF): 2012-01-27T19:09:32+09:00
• Format (IMT): image/jp2
• Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
• Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
• Availability of remote photoduplication service: 可
• Year and volume of holding: 1巻1号=1号(1989年4月) -
• Call No.: Z14-1555
• Original Material (JPNO): 00075690
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/3381473; https://dl.ndl.go.jp/pid/3381473
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

Table of Contents

<特集:半導体の洗浄および評価技術>

半導体の洗浄および評価技術

ハイメガソニックの発生と洗浄

電解イオン水を用いた洗浄技術

スクラブ洗浄技術