逆エピタキシー法による原子配列制御 : その場エッチング法による半導体原子層プロセス

国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/3495629

資料種別: 記事

著者: 金子忠昭

出版者: ひょうご科学技術協会

出版年: 1999-07

資料形態: デジタル

掲載誌名: 学術研究支援事業研究成果報告書平成10年度

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書誌情報

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: 逆エピタキシー法による原子配列制御 : その場エッチング法による半導体原子層プロセス
著者・編者: 金子忠昭
出版事項: 日本 : ひょうご科学技術協会
出版年月日等: 1999-07
出版年（W3CDTF）: 1999-07
数量: 容量 : i2kaneko.pdf(442661bytes)
タイトル（掲載誌）: 学術研究支援事業研究成果報告書
巻号年月日等（掲載誌）: 平成10年度
掲載巻: 平成10年度
本文の言語コード: jpn
国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/3495629
https://dl.ndl.go.jp/pid/3495629
コレクション（共通）: 障害者向け資料
コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
収集根拠: インターネット資料収集保存事業（WARP）
受理日（W3CDTF）: 2012-06-02T00:41:34+09:00
保存日（W3CDTF）: 2005-01-20
記録形式（IMT）: application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
遠隔複写可否（NDL）: 不可
掲載誌（URI）: https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/237179/www.cast.jp/hyogosta/publish/josei/H10/index.html
掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/3495626
https://dl.ndl.go.jp/pid/3495626
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp