逆エピタキシー法による原子配列制御 : その場エッチング法による半導体原子層プロセス

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/3495629

Material type: 記事

Author: 金子忠昭

Publisher: ひょうご科学技術協会

Publication date: 1999-07

Material Format: Digital

Journal name: 学術研究支援事業研究成果報告書平成10年度

Publication Page: -

View All

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Digital

Material Type: 記事
Title: 逆エピタキシー法による原子配列制御 : その場エッチング法による半導体原子層プロセス
Author/Editor: 金子忠昭
Publication, Distribution, etc.: 日本 : ひょうご科学技術協会
Publication Date: 1999-07
Publication Date (W3CDTF): 1999-07
Extent: 容量 : i2kaneko.pdf(442661bytes)
Periodical title: 学術研究支援事業研究成果報告書
No. or year of volume/issue: 平成10年度
Volume: 平成10年度
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/3495629
https://dl.ndl.go.jp/pid/3495629
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
Acquisition Basis: インターネット資料収集保存事業（WARP）
Date Accepted (W3CDTF): 2012-06-02T00:41:34+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2005-01-20
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Availability of remote photoduplication service: 不可
Periodical Title (URI): https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/237179/www.cast.jp/hyogosta/publish/josei/H10/index.html
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/3495626
https://dl.ndl.go.jp/pid/3495626
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp