高周波マグネトロンスパッタ装置の設計及び立ち上げ

国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/3507697

資料種別: 記事

著者: 辻琢人ほか

出版者: 詫間電波工業高等専門学校

出版年: 2008-06

資料形態: デジタル

掲載誌名: 詫間電波工業高等専門学校研究紀要 (36)

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書誌情報

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: 高周波マグネトロンスパッタ装置の設計及び立ち上げ
著者・編者: 辻琢人
冨田修平
増田知亜希
出版事項: 日本 : 詫間電波工業高等専門学校
出版年月日等: 2008-06
出版年（W3CDTF）: 2008-06
数量: 容量 : 36-03.pdf(733389bytes)
並列タイトル等: Design and fabrication of radio-frequency magnetron sputtering apparatus
タイトル（掲載誌）: 詫間電波工業高等専門学校研究紀要
巻号年月日等（掲載誌）: (36)
掲載巻: (36)
本文の言語コード: jpn
国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/3507697
https://dl.ndl.go.jp/pid/3507697
コレクション（共通）: 障害者向け資料
コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 独立行政法人
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00033
収集根拠: インターネット資料収集保存事業（WARP）
受理日（W3CDTF）: 2012-07-08T00:40:39+09:00
保存日（W3CDTF）: 2009-08-27
記録形式（IMT）: application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
遠隔複写可否（NDL）: 不可
掲載誌（URI）: https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/283856/denshobato.da.takuma-ct.ac.jp/users/tosyo/mokuji36.htm
掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/3507694
https://dl.ndl.go.jp/pid/3507694
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp