高周波マグネトロンスパッタ装置の設計及び立ち上げ

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/3507697

Material type: 記事

Author: 辻琢人ほか

Publisher: 詫間電波工業高等専門学校

Publication date: 2008-06

Material Format: Digital

Journal name: 詫間電波工業高等専門学校研究紀要 (36)

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Bibliographic Record

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Digital

Material Type: 記事
Title: 高周波マグネトロンスパッタ装置の設計及び立ち上げ
Author/Editor: 辻琢人
冨田修平
増田知亜希
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 詫間電波工業高等専門学校
Publication Date: 2008-06
Publication Date (W3CDTF): 2008-06
Extent: 容量 : 36-03.pdf(733389bytes)
Alternative Title: Design and fabrication of radio-frequency magnetron sputtering apparatus
Periodical title: 詫間電波工業高等専門学校研究紀要
No. or year of volume/issue: (36)
Volume: (36)
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/3507697
https://dl.ndl.go.jp/pid/3507697
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 独立行政法人
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00033
Acquisition Basis: インターネット資料収集保存事業（WARP）
Date Accepted (W3CDTF): 2012-07-08T00:40:39+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2009-08-27
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Availability of remote photoduplication service: 不可
Periodical Title (URI): https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/283856/denshobato.da.takuma-ct.ac.jp/users/tosyo/mokuji36.htm
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/3507694
https://dl.ndl.go.jp/pid/3507694
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp