SIMSプログラム補正方法の提案とSi-SiO2界面のボロンパイルアップの解析

• 資料種別: 記事
• タイトル: SIMSプログラム補正方法の提案とSi-SiO2界面のボロンパイルアップの解析
• 著者・編者: 兵頭敏宏; 吉田典生; 渡辺博文
• 出版事項: 日本 : リコー研究開発本部
• 出版年月日等: 1997-09-25
• 出版年（W3CDTF）: 1997-09-25
• 数量: 容量 : 022_029.pdf(378874bytes)
• 並列タイトル等: New correction method for SIMS profile and analysis of boron pile-up at the Si-SiO2 interface
• タイトル（掲載誌）: Ricoh technical report
• 巻号年月日等（掲載誌）: (23)
• 掲載巻: (23)
• 本文の言語コード: jpn
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/3513168; https://dl.ndl.go.jp/pid/3513168
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
• 収集根拠: インターネット資料収集保存事業（WARP）
• 受理日（W3CDTF）: 2012-07-31T00:39:07+09:00
• 保存日（W3CDTF）: 2009-12-10
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（URI）: https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/287263/www.ricoh.co.jp/technology/techreport/23/index.html
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/3513164; https://dl.ndl.go.jp/pid/3513164
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp