SIMSプログラム補正方法の提案とSi-SiO2界面のボロンパイルアップの解析

国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/3513168

資料種別: 記事

著者: 兵頭敏宏ほか

出版者: リコー研究開発本部

出版年: 1997-09-25

資料形態: デジタル

掲載誌名: Ricoh technical report (23)

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書誌情報

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: SIMSプログラム補正方法の提案とSi-SiO2界面のボロンパイルアップの解析
著者・編者: 兵頭敏宏
吉田典生
渡辺博文
出版事項: 日本 : リコー研究開発本部
出版年月日等: 1997-09-25
出版年（W3CDTF）: 1997-09-25
数量: 容量 : 022_029.pdf(378874bytes)
並列タイトル等: New correction method for SIMS profile and analysis of boron pile-up at the Si-SiO2 interface
タイトル（掲載誌）: Ricoh technical report
巻号年月日等（掲載誌）: (23)
掲載巻: (23)
本文の言語コード: jpn
国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/3513168
https://dl.ndl.go.jp/pid/3513168
コレクション（共通）: 障害者向け資料
コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
収集根拠: インターネット資料収集保存事業（WARP）
受理日（W3CDTF）: 2012-07-31T00:39:07+09:00
保存日（W3CDTF）: 2009-12-10
記録形式（IMT）: application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
遠隔複写可否（NDL）: 不可
掲載誌（URI）: https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/287263/www.ricoh.co.jp/technology/techreport/23/index.html
掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/3513164
https://dl.ndl.go.jp/pid/3513164
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp