SIMSプログラム補正方法の提案とSi-SiO2界面のボロンパイルアップの解析

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/3513168

Material type: 記事

Author: 兵頭敏宏ほか

Publisher: リコー研究開発本部

Publication date: 1997-09-25

Material Format: Digital

Journal name: Ricoh technical report (23)

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Digital

Material Type: 記事
Title: SIMSプログラム補正方法の提案とSi-SiO2界面のボロンパイルアップの解析
Author/Editor: 兵頭敏宏
吉田典生
渡辺博文
Publication, Distribution, etc.: 日本 : リコー研究開発本部
Publication Date: 1997-09-25
Publication Date (W3CDTF): 1997-09-25
Extent: 容量 : 022_029.pdf(378874bytes)
Alternative Title: New correction method for SIMS profile and analysis of boron pile-up at the Si-SiO2 interface
Periodical title: Ricoh technical report
No. or year of volume/issue: (23)
Volume: (23)
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/3513168
https://dl.ndl.go.jp/pid/3513168
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
Acquisition Basis: インターネット資料収集保存事業（WARP）
Date Accepted (W3CDTF): 2012-07-31T00:39:07+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2009-12-10
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Availability of remote photoduplication service: 不可
Periodical Title (URI): https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/287263/www.ricoh.co.jp/technology/techreport/23/index.html
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/3513164
https://dl.ndl.go.jp/pid/3513164
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp

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