オルソナフトキノンジアジドの熱反応に関する研究とポジ型EDUVレジストへの応用

国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/3514102

資料種別: 記事

著者: 宮川堅次

出版者: 関西ペイント

出版年: 2000-10

資料形態: デジタル

掲載誌名: 塗料の研究 (135)

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書誌情報

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: オルソナフトキノンジアジドの熱反応に関する研究とポジ型EDUVレジストへの応用
著者・編者: 宮川堅次
出版事項: 日本 : 関西ペイント
出版年月日等: 2000-10
出版年（W3CDTF）: 2000-10
数量: 容量 : 02.pdf(115112bytes)
並列タイトル等: Study on thermal reactions of o-naphthoquinone diazides and its application to electrodeposition positive photoresist
タイトル（掲載誌）: 塗料の研究
巻号年月日等（掲載誌）: (135)
掲載巻: (135)
本文の言語コード: jpn
国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/3514102
https://dl.ndl.go.jp/pid/3514102
コレクション（共通）: 障害者向け資料
コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
収集根拠: インターネット資料収集保存事業（WARP）
受理日（W3CDTF）: 2012-08-02T00:44:03+09:00
保存日（W3CDTF）: 2008-05-14
記録形式（IMT）: application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
遠隔複写可否（NDL）: 不可
掲載誌（URI）: https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/284944/www.kansai.co.jp/rd/token/135.html
掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/3514100
https://dl.ndl.go.jp/pid/3514100
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp