オルソナフトキノンジアジドの熱反応に関する研究とポジ型EDUVレジストへの応用

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/3514102

Material type: 記事

Author: 宮川堅次

Publisher: 関西ペイント

Publication date: 2000-10

Material Format: Digital

Journal name: 塗料の研究 (135)

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Bibliographic Record

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Digital

Material Type: 記事
Title: オルソナフトキノンジアジドの熱反応に関する研究とポジ型EDUVレジストへの応用
Author/Editor: 宮川堅次
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 関西ペイント
Publication Date: 2000-10
Publication Date (W3CDTF): 2000-10
Extent: 容量 : 02.pdf(115112bytes)
Alternative Title: Study on thermal reactions of o-naphthoquinone diazides and its application to electrodeposition positive photoresist
Periodical title: 塗料の研究
No. or year of volume/issue: (135)
Volume: (135)
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/3514102
https://dl.ndl.go.jp/pid/3514102
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
Acquisition Basis: インターネット資料収集保存事業（WARP）
Date Accepted (W3CDTF): 2012-08-02T00:44:03+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2008-05-14
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Availability of remote photoduplication service: 不可
Periodical Title (URI): https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/284944/www.kansai.co.jp/rd/token/135.html
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/3514100
https://dl.ndl.go.jp/pid/3514100
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp