オージェ電子分光法によるInP/GaInAsP多層膜の深さ方向分析 : Zalar回転および試料冷却の効果について
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国立国会図書館デジタルコレクション
書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 荻原俊弥田沼繁夫長沢勇二
- 出版事項
- 出版年月日等
- 1992
- 出版年(W3CDTF)
- 1992
- 並列タイトル等
- Depth profiling analysis of InP/GaInAsP multilayers by Auger electron spectroscopy. : effects of Zalar rotation and liquid nitrogen cold stage
- タイトル(掲載誌)
- 表面科学 : 日本表面科学会誌
- 巻号年月日等(掲載誌)
- 13(8)
- 掲載巻
- 13(8)