最適入射角度の低速酸素イオンを用いたSIMSによるボロンのゲート酸化膜突き抜け現象の解析

国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/8327374

資料種別: 記事

著者: 川島義也ほか

出版者: 日本表面科学会

出版年: 2003-07

資料形態: デジタル

掲載誌名: 表面科学 : 日本表面科学会誌 24(7)

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書誌情報

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: 最適入射角度の低速酸素イオンを用いたSIMSによるボロンのゲート酸化膜突き抜け現象の解析
著者・編者: 川島義也
小山晋
安藤公一
出版事項: 日本 : 日本表面科学会
出版年月日等: 2003-07
出版年（W3CDTF）: 2003-07
並列タイトル等: Study of boron penetration through gate oxide layer by SIMS under optimized incident angle of low-energy oxygen primary ion beam
タイトル（掲載誌）: 表面科学 : 日本表面科学会誌
巻号年月日等（掲載誌）: 24(7)
掲載巻: 24(7)
本文の言語コード: jpn
国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/8327374
https://dl.ndl.go.jp/pid/8327374
コレクション（共通）: 障害者向け資料
コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
収集根拠: インターネット資料収集保存事業（WARP）
受理日（W3CDTF）: 2013-10-19T02:33:07+09:00
保存日（W3CDTF）: 2008-01-26
記録形式（IMT）: application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
遠隔複写可否（NDL）: 不可
掲載誌（URI）: https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/274949/www-surface.phys.s.u-tokyo.ac.jp/sssj/Vol24/24-07/24-07.htm
掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/8327370
https://dl.ndl.go.jp/pid/8327370
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
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